Plateforme MIMENTO. Crédits photo : FEMTO-ST.

Forte de ses 865 m² de salle blanche, la plateforme Mimento est un lieu dédié à la fabrication de microsystèmes multimatériaux (silicium, quartz…). Elle capitalise sur les expertises en microtechnologies de FEMTO-ST pour développer des innovations dans des domaines de pointe, comme le spatial, les télécommunications en milieux sévères, le luxe et le biomédical. Alexandra Monnin, chargée des partenariats industriels à FEMTO-ST et à FEMTO ENGINEERING, nous présente MIMENTO, intégrée à l’offre de plateformes technologiques du Carnot TSN.

 

Quels sont les domaines d’expertise scientifique de la plateforme MIMENTO ?

Alexandra Monnin : Notre sommes spécialisés dans les microtechnologies et les nanotechnologies. Cela englobe aussi bien la micro et la nano-acoustique, que la micro-optique, ou les nanomatériaux. Notre expertise se situe également sur des composants très amont pour l’optique quantique et le doublage de fréquence, et sur des parties plus applicatives comme la fabrication de microsystèmes (opto-électro-mécanique, capteurs, pièces horlogères, structures microfluidiques…). Notre spécificité est de pouvoir travailler sur une grande variété de matériaux tels que le silicium, le quartz, le niobate de lithium, le tantalate de lithium… Pour cela nous disposons d’un large éventail d’équipements pour réaliser des dépôts de couches, des gravures, de la lithographie, du LIGA, de la microdécoupe ainsi que de la caractérisation.

En vidéo : le nouveau procédé LIGA, par FEMTO Engineering

Dans quoi ces spécialités trouvent-elles des applications ?

AM : Les télécommunications, le spatial, les capteurs, le luxe, le biomédical, la microfluidique sont les principaux secteurs d’application. La nano-acoustique est un autre domaine d’application pour la mise au point de filtres radiofréquences dans les antennes de systèmes de communication mobile. Quant aux réseaux de capteurs, ils bénéficient de nos travaux sur les matériaux piézoélectriques. Nous sommes spécialisés sur des capteurs capables de résister à des conditions hostiles de pression ou de température, comme dans les pipelines ou dans l’espace. Pour cela nous avons beaucoup d’innovations en lien avec les nouveaux matériaux, comme le tantalate de lithium, ou des nanocouches d’or spécifiques à certains usages. Et puis nous travaillons beaucoup avec l’industrie du luxe également.

Pourquoi le secteur du luxe est-il intéressé par les recherches en micro et nanotechnologies ?

AM : Il est vrai que ce n’est pas l’industrie à laquelle on pense en premier sur ces disciplines, principalement car les acteurs du luxe sont très discrets et communiquent peu. Les industriels du luxe nous contactent pour améliorer l’adhérence de certains matériaux, pour réaliser de la structuration de surface ou pour étudier des nouveaux process de microfabrication… Les entreprises du luxe — plus précisément du secteur horlogerie, bijouterie, joaillerie, orfèvrerie en ce qui concerne nos collaborations — sont vraiment dans une démarche de développement de nouvelles technologies, au même titre que le médical ou le spatial.

Quels sont les partenariats emblématiques en cours dans lesquels MIMENTO est impliquée ?

AM : En ce moment nous travaillons avec Airbus et le Centre National d’Etudes Spatiales (CNES) sur des composants satellites. La problématique générale est la télémesure depuis l’espace d’activités situées sur la surface terrestre en utilisant des microdétecteurs réalisés par notre plateforme. Ces détecteurs sont dédiés à la triangulation de signaux pour évaluer des dynamiques de déplacements : mesure de coordonnées GPS, étude de la tectonique des plaques terrestres, suivi de trajectoires…

Quels sont les équipements spécifiques de MIMENTO ?

AM : Notre plateforme est dotée de plus de 865 m² de salle blanche de classe ISO 4 à 7. Les équipements sont conçus pour pouvoir s’adapter aux traitements de différents matériaux : photolithographie (dépôts par sputtering, évaporation…), gravure humide et sèche (DRIE), wafer bonding, sondes ioniques focalisées, ellipsomètres, microscopie électronique à balayage…


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